超精密温调チャンバ
ミニエンバイロメント技术
ミニエンバイロメント技术とは？
清浄度の高い空间を极小化することにより、设备のイニシャルコストとランニングコストを削减します。また、製品の品质や歩留まりの向上に贡献します。
- 监视?制御したい
概要
±5/1,000℃レベルの精密温度制御を実现
高性能な位置あわせが求められる製造装置（半导体?液晶露光装置）や精密测定装置（电子天秤）に対し、直膨コイル＋ホットガス再热で省エネ?低コスト?高精度を実现します。
仕様
超精密温调チャンバの構造（外観、前室、チャンバ本室）
- 直膨スペースファインユニットの设置例
- 半导体、尝颁顿工场内に设置される精密温调チャンバとして
- その他、精密温调が必要とされる製造室、试験室として
- 高精度マルチループ调节计を採用
- 2ポイントセンサにより吹出空気をカスケード制御
- 設置环境に合わせて適切に外乱補正制御
- 清浄度0.1μ尘、クラス1
- 低アウトガス资材により、チャンバ内のケミカル浓度を低减（滨罢搁厂対応）
- 特殊断热パネルを採用